ETRI 반도체실험실

물성분석실험실 조성

• SIMS 등 반도체 분석장비 7종 도입
• 물성분석 장비 제조기업 창업 : ㈜케이맥

반도체 장비 ALD 개발

• 국내 최초 테라급 단원자층 증착 기술 개발
• ALD 장비 제조기업 창업 : 지니텍

반도체 장비 RTP 개발

• RTP장비 제조기업 창업 : AP시스템

CDMA 단말기용 아날로그 칩 개발

• 0.8um 디지털/아날로그 CMOS IC 기술
• AMPS/Digital 겸용 CDMA용 아날로그 ASIC(IMA)
• 국내 최초 개발, 휴대폰 업체(삼성 등) 상용화

ATM용 아날로그 칩 개발

• 155/622Mbps ATM용 아날로그 칩(OE/EO, Tx/Rx)
• 국내 최초 개발, ATM 교환기 개발에 절대적 기여

국내 최초 OLED 개발

• 국내 업체들이 OLED 세계 선두주자로 부상하는데 기여

Si CMOS 기반 원외 반도체 제작지원

• ASIC(설계,소자,패키징) 제작지원
• CMOS기반 반도체 시제품제작/단위공정 지원

화합물실험실 OPEN

• 국내 최초 화합물 전용 실험실
• 3인치 GaAs/InP 일괄 공정

국내 최초 4M/16M/64M DRAM 개발

• ETRI 연구총괄 삼성반도체통신/금성반도체/현대전자 공동참여
• 경제 파급효과 54조원(2017년기준)