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기술현황

연구성과

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대한민국 반도체 산업의 길을 열다

(1997 ~ 1988)

1996
물성분석실험실 조성/반도체 장비 ALD 개발/반도체 장비 RTP 개발

물성분석실험실 조성

  • SIMS 등 반도체 분석장비 7종 도입
  • 물성분석 장비 제조기업 창업 : ㈜케이맥

반도체 장비 ALD 개발

  • 국내 최초 테라급 단원자층 증착 기술 개발
  • ALD 장비 제조기업 창업 : 지니텍

반도체 장비 RTP 개발

  • RTP장비 제조기업 창업 : AP시스템
1995
CDMA 단말기용 아날로그 칩 개발

CDMA 단말기용 아날로그 칩 개발

  • 0.8um 디지털/아날로그 CMOS IC 기술
  • AMPS/Digital 겸용 CDMA용 아날로그 ASIC(IMA)
  • 국내 최초 개발, 휴대폰 업체(삼성 등) 상용화

ATM용 아날로그 칩 개발

  • 155/622Mbps ATM용 아날로그 칩(OE/EO, Tx/Rx)
  • 국내 최초 개발, ATM 교환기 개발에 절대적 기여
1994
국내 최초 OLED 개발

국내 최초 OLED 개발

  • 국내 업체들이 OLED 세계 선두주자로 부상하는데 기여
1993

Si CMOS 기반 원외 반도체 제작지원

  • ASIC(설계,소자,패키징) 제작지원
  • CMOS기반 반도체 시제품제작/단위공정 지원
1991
화합물실험실 OPEN

화합물실험실 OPEN

  • 국내 최초 화합물 전용 실험실
  • 3인치 GaAs/InP 일괄 공정
1989
국내 최초 4M/16M/64M DRAM 개발

국내 최초 4M/16M/64M DRAM 개발

  • ETRI 연구총괄 삼성반도체통신/금성반도체/현대전자 공동참여
  • 경제 파급효과 54조원(2017년기준)
1988
실리콘실험실 OPEN

실리콘실험실 OPEN

  • 규모 : 4동 G층 235평
  • 투자예산 : 82억원
  • 5인치 1.2㎛/0.8㎛/0.5㎛ CMOS 공정