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기술이전대상기술

수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 기술


*수소 Diffusion barrie로써 원자층 증착 방법을 이용한 Al2O3 박막층을 산화물 TFT에 적용한 구조 및 공정 기술


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