고 이동도 산화물 TFT 기술
- 작성자여순일
- 배포일2017.03.07
- 조회수481
- 첨부
- 고해상도
고속 동작 디스플레이의 백플레인
소자로 사용이 가능한 고이동도
산화물 TFT를
고안정성을 유지하기 위한 구조임
- ALD
(원자층증착법)을
이용하여 수소 베리어를
형성하는 것이 기본 구조임
- 고이동도
산화물 TFT에
대한 공정 노하우 기술
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