IGBT 전력반도체 적용을 위한 레이저 어닐링 평가 기술
- 작성자여순일
- 배포일2017.05.25
- 조회수462
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본 기술은
전력반도체 특히 FS-IGBT
소자에
적용 가능한 레이저 어닐링 공정을
개발하기 위해 레이저 광침투 깊이
분석, 레이저에
의한 웨이퍼 Damage
평가
최종적으로 FS-IGBT
소자에
레이저 어닐링을 적용하여
전력반도체 웨이퍼 후면용
레이저 어닐링 장비를
개발하기 위한 공정평가기술
IGBT 전력반도체 적용을 위한 레이저 어닐링 평가 기술