디지털 MEMS 마이크로폰 ROIC 기술
- 작성자여순일
- 배포일2017.03.07
- 조회수404
- 첨부
- MEMS 마이크로폰
센서의 정전용량 변화량을 디지털
전기신호로 변환하는 회로기술
. 5~10V 전압으로 MEMS 센서 구동
. MEMS 센서 신호를 아날로그 전기신호로 변환
. 아날로그 전기신호를 델타-시그마 변환기를 이용하여 1-Bit 디지털신호로 변환
. 2채널 디지털 인터페이스(1/2 cycle PDM)
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