초소형 실내 공기질 관리용 가스센서 기술
- 작성자여순일
- 배포일2017.03.07
- 조회수401
- 첨부
- 감지소재와
가스간의 전자 교환으로 인한 전기적 저항의 변화로서 가스 유무를 감지하며 히터를 이용 부분적으로 온도를 올려 이 반응 활성화
- 감지소재는
스크린프린팅,
잉크젯프린팅,
화학적기상증착법,
스퍼터링
등의 대면적 증착
방식을 사용
- 특히
고열효율과 고강성으로
설계된 마이크로히터를
CMOS-MEMS
공정
으로 제작하고 이를 가스센서에 적용, 초소형
저소모전력형
센서 구현
