기술 요약
고감도/고선택성 MEMS 폼알데히드 가스센서 기술
고감도/고선택성 MEMS 폼알데히드 가스센서 기
기술 개요
감지물질 (금속산화물) 표면에서의 가스 산화/환원에 따른 감지물질 표면 산소흡착
량 변화. 이에 따른 소자의 전기저항을 모니터링
사양
소모전력: 10~15mW@300도
마이크로히터 die 사이즈: 최소 1 x 1 mm2
Heating area: < diameter 100 μm
이전 가능
기술
저전력소모 MEMS 마이크로히터 제작 기술
ü
폼알데히드 감지물질 전구체 제작 기술
ü 금속산화물 기반 폼알데히드 감지물질 열처리 기술
ü 가스센서 구성을 위한 감지물질 페이스트 제작 기술
ü - 폼알데히드 가스센서의 고감도/고선택성 가스 감지 특성 분석 기술
기술 적용
분야
환경센서, 가스센서, 대기질 모니터링, 실내공기질 모니터링, weather station, 자동
차 IAQ(indoor air quality) 시스템 등
특허 사항
특허 명
1-기판 일체형 진공캐비티를 갖는 멤스 센서
2-센서 섬유 및 이의 제조방법
출원등록
사항
1-출원 번호: 10-2016-0021344(한국)
2-출원 번호: 10-2015-0175265 (한국)
문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)
Key Word: HCHO gas sensor, MEMS heater, high sensitivity, selectivity to NO2