기술 요약

마이크로히터 내장형 센서기술

마이크로히터 내장형 센서기

기술 개요

저전력 초소형 가스센서 기술은 ICT 정보기기에 접목시킴으로서 첨단 개인용 환경 감

지기기, 밀폐 공간(지하철, 고속터미널 등) 내의 실내 환경 감지기기 시스템, 대기 환경

감지기기 시스템 구축 등과 같이 환경산업 및 정보통신 산업의 융합 발전에 필수 기술

임

기술의 특징

수 um 정도의 미세 패턴으로 형성되어 초소형(active area: 1.5 mm x 1.5 mm) 구조, 

미세 패턴에 의한 저전력이 동작이 가능, 마이크로 히터 기반의 감지 물질에 의한 고민

감도 특징을 가짐

기술이전의

내용 및 범위

저소모전력형(CMOS/MEMS) 마이크로 히터 설계및 제작 기술

반도체 공정 기반 가스센서 설계 및 제작 기술

마이크로히터 기반 NO2 감지 센서 제작 기술 및 NO2 감시 센서 특성 평가 기술

활용 분야

저소모전력형 마이크로히터 기반 NO2 가스 센서

특허 사항

특허 명

반도체식마이크로가스센서및그제조방법

출원등록

사항

10-0710864(한국)

문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)

Key Word: 내장형센서, 마이크로히터, 저전력