기술 요약

초소형 실내공기 질 관리용 가스센서 기술

초소형 실내공기 질 관리용 가스센서

기술 개요

감지소재와 가스간의 전자 교환으로 인한 전기적 저항의 변화로서 가스 유무를 감

지하며 히터를 이용 부분적으로 온도를 올려 이 반응 활성화

감지소재는 스크린프린팅, 잉크젯프린팅, 화학적기상증착법, 스퍼터링 등의 대면적

증착 방식을 사용

특히 고열효율과 고강성으로 설계된 마이크로히터를 CMOS-MEMS 공정 으로 제작

하고 이를 가스센서에 적용, 초소형 저소모전력형 센서 구현

이전 가능

기술

저소모전력형 MEMS 히터 기술

실리콘 기반 마이크로 히터 설계 및 제작 공정 기술

실리콘 기반 마이크로 히터 특성 측정 및 분석 기술

대량생산가능한 초소형 공기질 센서 기술

. 대면적 가스 감지 소재 증착 및 분석 기술

. 가스 감지 특성 측정 및 분석 기술

. 가스 센서 모듈 설계 기술

. 가스 감지 알고리즘 기술

기술 적용

분야

집안이나 자동차 등의 실내 공기질 관리 분야

특허 사항

특허 명

1-다수의 구멍을 가진 마이크로히터와 이를 이용한 MEMS형반도체식가스센서

2-단일 기판에서 구현된 MEMS형 가스 농축기와 다중 감지 방식의 가스센서 어레

이와 이를 기반한 전자 후각 소자

출원등록

사항

1-등록 번호: 2011-0068818 (한국)

2-출원번호: 2014-0019170 (한국)

Key Word: 가스센서, 공기 질 관리, 실내, 저소모전력, MEMS

문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)