기술 요약

고감도/고선택성 MEMS 폼알데히드 가스센서 기술

고감도/고선택성 MEMS 폼알데히드 가스센서 기

기술 개요

감지물질 (금속산화물) 표면에서의 가스 산화/환원에 따른 감지물질 표면 산소흡착

량 변화. 이에 따른 소자의 전기저항을 모니터링

사양

소모전력: 10~15mW@300도

마이크로히터 die 사이즈: 최소 1 x 1 mm2 

Heating area: < diameter 100 μm

이전 가능

기술

저전력소모 MEMS 마이크로히터 제작 기술

ü

폼알데히드 감지물질 전구체 제작 기술

ü 금속산화물 기반 폼알데히드 감지물질 열처리 기술

ü 가스센서 구성을 위한 감지물질 페이스트 제작 기술

ü - 폼알데히드 가스센서의 고감도/고선택성 가스 감지 특성 분석 기술

기술 적용

분야

환경센서, 가스센서, 대기질 모니터링, 실내공기질 모니터링, weather station, 자동

차 IAQ(indoor air quality) 시스템 등

특허 사항

특허 명

1-기판 일체형 진공캐비티를 갖는 멤스 센서

2-센서 섬유 및 이의 제조방법

출원등록

사항

1-출원 번호: 10-2016-0021344(한국)

2-출원 번호: 10-2015-0175265 (한국)

문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)

Key Word: HCHO gas sensor, MEMS heater, high sensitivity, selectivity to NO2