기술 요약

디지털 MEMS 마이크로폰 ROIC 기술

디지털 MEMS 마이크로폰 ROIC 기

기술 개요

MEMS 마이크로폰 센서의 정전용량 변화량을 디지털 전기신호로 변환하는 회로기술

- 5~10V 전압으로 MEMS 센서 구동

- MEMS 센서 신호를 아날로그 전기신호로 변환

- 아날로그 전기신호를 델타-시그마 변환기를 이용하여 1-Bit 디지털신호로 변환

- 2채널 디지털 인터페이스(1/2 cycle PDM)

활용 분야

스마트폰, 태블릿PC, 노트북, 헤드셋 등 모바일 기기

Functional 디지털 TV, 리모컨 등 음성명령 입력기기

특허 사항

특허 명

출원등록

사항

문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)

Key Word: MEMS 마이크로폰, ROIC