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기술 요약

수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 기술

수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 기

기술 개요

수소 Diffusion barrie로써 원자층 증착 방법을 이용한 Al2O3 박막층을 산화물 TFT

적용한 구조 및 공정 기술

기술의 특징

및 장점

수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 제작 공정 기술로써 원자층 증착법

(Atomic Layer Deposition, ALD) 방법을 적용하여 Al

2O3 박막을 제작하고 이를 산화

물 TFT Passivation 층에 적용함으로서 산화물 TFT 특성이 수소에 의한 영향을 배제

할 수 있는 기술

영상 품질 향상을 통한 환자 등 방사선 피폭 선량 저감

High Mobility TFT 적용으로 고해상도 및 다양한 크기의 검출기 생산 가능

2% 미만의 X-ray 동영상 lag, 초당 30 frame 이상의 동영상 구현 가능

넓은 Dynamic Range 및 Low leakage current

활용분야

Digital X-ray Detector

동영상 X-ray Detector

Unbreakable X-ray Detector

특허 사항

특허 명

해당사항 없음

출원등록

사항

문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)

Key Word: 산화물TFT, 수소배리어, ALD 방법