기술 요약
수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 기술
수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 기
기술 개요
수소 Diffusion barrie로써 원자층 증착 방법을 이용한 Al2O3 박막층을 산화물 TFT에
적용한 구조 및 공정 기술
기술의 특징
및 장점
수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 제작 공정 기술로써 원자층 증착법
(Atomic Layer Deposition, ALD) 방법을 적용하여 Al
2O3 박막을 제작하고 이를 산화
물 TFT Passivation 층에 적용함으로서 산화물 TFT 특성이 수소에 의한 영향을 배제
할 수 있는 기술
영상 품질 향상을 통한 환자 등 방사선 피폭 선량 저감
High Mobility TFT 적용으로 고해상도 및 다양한 크기의 검출기 생산 가능
2% 미만의 X-ray 동영상 lag, 초당 30 frame 이상의 동영상 구현 가능
넓은 Dynamic Range 및 Low leakage current
활용분야
Digital X-ray Detector
동영상 X-ray Detector
Unbreakable X-ray Detector
특허 사항
특허 명
해당사항 없음
출원등록
사항
문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)
Key Word: 산화물TFT, 수소배리어, ALD 방법